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刻蚀机或成芯片制造关键设备 中国或摆脱技术封锁

来源:今日观察者 科技

刻蚀机或成芯片制造关键设备 中国或摆脱技术封锁

芯片制造流程里,光刻机算是头等重要的设备。特别是EUV光刻机,它是造七纳米以下芯片的核心机器,全球唯有ASML能造,美国还不准ASML卖给咱们,所以说其重要程度就不用多说了。咱们正因为没有EUV光刻机,进到七纳米以下领域就困难重重。即便用多重曝光技术,搞出七纳米、五纳米的芯片,但率良水平和成本方面仍然没什么优势。

芯片发展到三纳米、两纳米阶段后,物理限制和经济代价一块儿冒头了,光靠晶体管缩小的路子已经走到头了。芯片进步要进入下一阶段了,那就是三维技术。不管是堆叠,还是3D封装,核心都是尽量把平面的芯片造成立体的,这样即便不停缩小晶体管,也能提升性能。

三维技术下,最关键的设备可能不光是光刻机了。此刻,刻蚀机和混合键合机格外关键。刻蚀机主要用在芯片制造环节上,混合键合机则主要用在封装过程。所以,在前端制造里,刻蚀机的核心作用更突出。

刻蚀机和光刻机的作用其实是互相配合的。光刻机是把芯片电路图通过光线投影到硅晶圆上,刻蚀机则是在刻好的硅晶圆上,把不需要的部分腐蚀掉,只留下需要构造的部分。在芯片平面结构时代,光刻机的重要性更明显。但芯片立体结构成为主流后,晶体管排列愈加复杂,刻蚀机的作用越来越大,已经超过了光刻机,可以说是决定芯片性能的核心工艺。

跟光刻机被卡脖子的情况不一样,刻蚀机领域咱们已经达到世界顶尖水平了。国内刻蚀机最强的是中微公司,这家公司现在已经打进了台积电供应链,其技术早就到了三纳米制造水平,跟全球顶尖厂商完全不在一个量级。

另外,中微公司的刻蚀机,实现了零部件的全部一百%国产化,真正做到了独立自主,完全不依赖从国外进口任何技术和元件,彻底不用担心被卡脖子的问题。所以接下来,随着芯片不断往前发展,进到三维时代时,咱们的底气会越来越足,再加上华为的韬定律加持,中国芯片产业崛起,已经是势不可挡了。

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